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平面型谐振式支承回路静电轴承的性能计算 |
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回路 |
示 意 图 |
计 算 公 式 |
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并 联 谐 振 |
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承 载 能 力 /N |
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刚 度 /N·m-1 |
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串 联 谐 振 |
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承 载 能 力 /N |
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刚 度 /N·m-1 |
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备
注 |
C0—— 一个电极在无偏心时的电容，F；ω—— 角频率，rad/s；C—— 一个电极的漏电容，F；f—— 电源频率，Hz； Le—— 等效并联电感，H；Ge—— 等效并联电导，S；ε—— 偏心率；h0—— 转子无偏心时的间隙，m；εr—— 相对介电常数，对真空εr＝1；A—— 电极面积，m2；I—— 电流，A；U—— 电压，V |
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