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静电轴承常用材料及荐用参数 |
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参 数 名 称 |
荐 用 值 |
附 注 |
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电参数 |
外加电压 /V 电场强度 /MV·m-1 |
2000~4000 40~50 |
受击穿场强限制 |
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几何参数 |
轴承相对间隙 /m 形状误差 表面粗糙度参数 Ra/μm |
(2~10)×10-4 小于间隙值的1/10~1/100 ＜0.1 |
按电压和加工精度确定 按仪器要求精度确定最小误差 影响击穿场强 |
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环境参数 |
真空度 /Pa |
常在真空环境，真空度高于1.33×10-4 |
真空度低，击穿场强也低 |
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常 用 材 料 |
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壳体或定子 电 极 转 子 |
金属、陶瓷(Al2O3、BeO等) 钢、铜、铝、镍等 铝、铍、石英等 |
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