静电轴承的设计与计算

设计步骤大致如下：①选择轴承结构型式及轴承材料；②根据承载能力和刚度要求，确定轴承尺寸和极板总面积；③确定极板数(一般2～12极)和轴承间隙，计算初始电参数；④选择电源(交流或直流)决定控制方式；⑤建立转子动力方程，设计控制系统参数；⑥核算承载能力和刚度，如不满足要求需重新确定参数，直至满足为止；⑦进行系统动态分析；⑧进行电子线路设计

平面型、谐振式回路控制的止推静电轴承的承载能力和刚度计算见表平面型谐振式支承回路静电轴承的性能计算